株テーマ:EUVマスクブランクスの関連銘柄

住友化学は、EUV(極紫外線)に対応したマスクブランクスは、ガラス材料からコーティングの一貫生産を強みに拡大し、売り上げ規模は200億円に迫っている。2017年にEUVVマスクブランクスの生産を開始し、2025年には売上高400億円以上、シェア50%を目指している。

HOYAもEUVマスクブランクスがマスクブランクスの販売の3割に高まっている。

大日本印刷は、マスク描画装置を利用し、半導体製造の最先端プロセスであるEUVリソグラフィに対応する、5ナノメートル相当のフォトマスク製造プロセスを開発した。現在の半導体製造では、フォトリソグラフィ用の光源に、波長が193nmのエキシマレーザーを使用するが、EUVリソグラフィでは波長が13.5nmのEUV(極端紫外線)を光源とするため、微細化が大幅に進んでいる。大日本印刷は2023年に年間60億円の売上げを目指す。

ウシオ電機は、EUVリソグラフィマスク検査用光源を量産プロセス向けとして供給している。光源事業をブランド化し、「TinPhoenix(ティンフェニックス)」としてグローバル展開する。光源にはレーザーアシストプラズマ放電方式を採用している。

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