ＪＳＲのグループ企業Inpriaが、韓国ＳＫハイニックスと次世代ＤＲＡＭに向けたＥＵＶ用金属酸化物レジストを共同開発する。Inpriaは21年9月にＪＳＲが約565億円で買収しており、ＥＵＶ（極端紫外線）リソグラフィ用メタル系フォトレジストの開発で世界をリードしている。最先端のＤＲＡＭチップを製造するために必要な微細加工性能だけでなく、製造工程に必須とされる非常に低い欠陥レベルを達成している。

ＪＳＲによるＥＵＶレジスト事業の強化は、先行するトップ企業の東京応化を追い上げる目的。半導体の微細化に伴い、高解像度のＥＵＶフォトレジストが求められており、メタル系フォトレジストは有望素材として、期待されている。ＪＳＲは下方修正でストップ安となったが、営業利益を5億円減額しただけで、増収増益。