JSRは、2021年9月17日、EUVリソグラフィ用メタル系フォトレジストの設計・開発・製造会社のInpriaを完全子会社化すると発表した。投資額は約450億円。完了は2021年10月末を予定する。

Inpriaは、メタル系EUVフォトレジストの開発に取り組んでおり、EUV露光で世界最高性能の限界解像度を達成している。製造で求められる低欠陥レベルを満たし、より微細な構造をパターニングできることから、EUV工程でのパターニングコストの大幅な削減に貢献する。

JSRの株価は1.99％高の4355円で推移している。