株テーマ:半導体検査装置の関連銘柄

半導体検査装置

半導体検査装置では、米KLAテンコールとテラダインが世界大手。アドバンテストは米ベリジーを買収し、世界シェアを大きく伸ばした。

(6857)アドバンテストはDRAM検査装置で首位。2011年の米ベリジー社買収(900億円)に続いて、2019年2月には米アストロニクスの半導体関連テスト事業も買収し、検査事業を強化する。半導体市況の悪化で、当初買収金額の240億円が150億円へ減額された。メモリーやシステムLSIのテスト工程の(6627)テラプローブは台湾の力成科技が筆頭株主となり、台湾からの受注が好調。(6337)テセックは半導体の動作を検査するテスターが主力で、高低温の環境を再現できる検査装置が得意で、自動車やデータセンター向けパワー半導体や、スマホ向け半導体検査装置に強い。

(6721)ウインテストは生産を外部に委託し、イメージセンサー検査装置が主力。(6855)日本電子材料は、ウェハー検査工程で電気的検査に用いるプローブカードの大手で、世界4位クラス。(6871)日本マイクロニクスもプローブカードが主力で、DRAM・NAND型からロジック向け比率を40%に拡大する方針。2018年の世界半導体プローブカード売上では、日本マイクロニクスが3位、日本電子材料が4位、日本電産リードの子会社が6位となっている。(6800)ヨコオは、需要急増を受けて、2020年にマレーシア工場の生産能力を6割引き上げ、年500万個にする。

(6920)レーザーテックはマスク検査装置が微細化で好調、次世代マスクブランクス検査装置も開発している。レーザーテックは、世界で唯一EUV光源を使って、ブランクスの欠陥検査を行える装置「ABICS」を製品化した。昨年11月には5nm世代以降の最先端マスクブランクス欠陥検査装置「MAGICS」を発表し、半導体マスク欠陥検査装置「MATRICS」とともにEUV関連のラインアップが揃っている。

レーザーテックはEUV(極端紫外線)を光源として使い、フォトマスクの欠陥の有無を調べる欠陥検査装置ACTIS「A150」を開発した。A150では微細化に使うEUV露光装置と同様のEUV光源を採用し、業界初の技術。A150では3ナノの微細化にも対応出来るとしており、米KLAテンコールなどの競合企業はEUV光源の検査装置を開発していないようだ。

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