前3月期売上は2.3％減の2758億円、営業利益は9.2％減の587億円、純利益は6.1％減の535億円となった。前の期のＶ字型回復から見れば減収減益だが、新型コロナが不透明感を強める中では健闘していると言える。1ー3月期を切り出すと売上は7％増の682億円、純利益は66％増の148億円と、5四半期ぶりの増益となっている。

半導体試験装置の需要は、生産量の増減だけでなく、技術進化にも影響される。最先端のＥＵＶ半導体が登場し、５Ｇスマホの生産が本格化することで、受注は過去最高となっていた。今期は反動減で6.9％減の1926億円となるが、データセンター需要は外出制限で世界的に押し上げられており、今後は世界首位のメモリー需要の増加も見込める。

第1四半期の受注は620億円、売上は700億円、営業利益は130億円、純利益は105億円を計画している。貿易摩擦の長期化や新型コロナの影響で、通期業績予想は示していないものの、好調を持続し過去最高益に迫ることが期待される。