株テーマ：半導体洗浄装置の関連銘柄
一度に多数のウェーハをまとめて洗浄する装置を、「バッチ洗浄装置」という。 これに対してウェーハを1枚ずつ洗浄する装置は「枚葉洗浄装置」と呼ばれている。バッチ洗浄装置の利点は、生産性が高く1枚あたりのウェーハの処理コストが安いこと。洗浄性能は枚葉式のほうが優れているので、高度な洗浄が要求される場合は、枚葉式を選ぶ必要がある。ウェハー洗浄装置では、(7735)ＳＣＲＥＥＮ ＨＤが世界首位。
前工程の中でも洗浄は回数の多いプロセスなので、ウエハ1枚あたりにかかる時間は短くすることが求められるため、ウエハ25枚あるいは50枚とまとめて処理できるバッチ式洗浄大量生産に向いている。枚葉式洗浄装置は、薬液使用量、価格面でも利点があるとされている。
ＳＣＲＥＥＮ ＨＤは、半導体製造装置事業を主力事業とし、世界トップシェアを誇る洗浄装置のほか、リソグラフィー装置、熱処理装置なども手掛ける。半導体製造装置の需要拡大に対応するため、彦根事業所に半導体製造装置事業の新工場「S3-5（エス・キューブ ファイブ）」を建設する。
ジェイ・イー・ティは、バッチ式と呼ばれる半導体洗浄装置が主力で、北海道で超微細半導体の生産プロジェクトを推進するRapidus（ラピダス）から研究開発業務を受託し、同社製造ラインへの装置納入を目指している。
ジェイ・イー・ティは、バッチ式半導体洗浄装置を得意とするが、枚葉式では赤外線ランプで薬液を高温にするといった特殊な機能もある。ラピダスは製造期間短縮で、他の大手半導体メーカーと差別化することを掲げ、オール枚葉処理による製造ラインを構築することを目指している。その実現のためには、特殊仕様の枚葉式洗浄装置が必要となる。
(6590)芝浦メカトロニクスは、前工程の枚葉式ウェーハ洗浄装置、枚葉式フォトマスク洗浄装置を手掛けている。
