株テーマ:EUVフォトマスクの関連銘柄

EUVフォトマスクは、EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したもので、表面に装着する薄い保護膜がペリクル。

半導体回路の原版となるフォトマスクは凸版印刷と大日本印刷が生産しており、三井化学はASMLとペリクル事業のライセンス契約を締結しており、生産権及び生産販売権を取得している。

三井化学は、2021年5月26日、EUVペクリルの商業生産を開始したと発表した。三井化学は半導体リソグラフィー分野で世界No1のASMLからライセンス契約を受け、EUVペリクルの生産設備を岩国大竹工場内に新設し、商業生産を行う。

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株式情報更新 (5月25日)


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