株テーマ:ウエハー搬送装置の関連銘柄

ウェハ搬送は半導体製造装置の前工程では重要な工程で、特に高精度、高速度が求められ。工程内ウェーハ搬送装置,工程間ウェーハ搬送装置, ストッカーなどがある。

〇搬送装置の主要企業は「ダイフク」「村田機械」の2社

〇ウェーハ搬送ロボット
6323:ローツェ
6506:安川電機
6594:日本電産
6622:ダイヘン
6266:タツモ
6728:アルバック
7012:川崎重工業


ローツェは、ウエハー・ガラス基板搬送機最大手。安川電機の半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途。平田機工は、300mm ウェーハ搬送ロボットを手掛けている。


ダイフクは先端半導体向けの自動搬送機を開発した。半導体を製品に最終加工する「後工程」に対応した搬送機で、搬送自動化の分野に進出する。

ウエハー搬送装置 関連銘柄

ウエハー搬送装置 関連テーマ

半導体製造装置(前工程)
ウエハー搬送装置 半導体エッチング装置 半導体切断装置 超純水装置 ハイブリッドボンディング 半導体成膜装置 半導体洗浄装置 半導体露光装置

株式情報更新 (6月18日)


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