ノベルクリスタルテクノロジーは、2022年3月1日、NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」において、次世代半導体材料として注目される酸化ガリウムをハライド気相成長法によって6インチウエハ上に成膜することに世界で初めて成功したと発表した。

この成果は、大口径かつ複数枚のエピウエハを製造可能な酸化ガリウム量産成膜装置の開発を大きく進展させ、成膜コストが課題となっていた酸化ガリウムエピウエハの大口径・低コスト化の実現につながるとしている。また、酸化ガリウムパワーデバイスが広く普及すれば、産機用モーター制御のインバーターや住宅用太陽光発電システムのインバーター、次世代EVなどの省エネルギー化が見込めるとしている。

今後は、酸化ガリウムエピウエハの量産技術を確立した後、2024年度に量産装置の製品化を目指す。

タムラ製作所の株価は1.67％高の610円で推移している。