東京エレクトロンは蘭ＡＳＭＬとベルギーの研究機関アイメックが共同運営する研究所に次世代ＥＵＶ装置を納入する。ＡＳＭＬのＥＵＶ露光装置と東京エレクトロンの塗布現像装置（コータ・デベロッパ）を一体化するもので、半導体生産性の向上を図る。装置は22年前半にも供給し、23年に稼働させる計画。アイメックは、半導体プロセス分野を中心に技術開発を手掛ける研究機関で半導体製造装置メーカーなど600社とパートナーシップを結ぶ。国内勢ではパナソニックが世界で数社しかないコアパートナーとなっており、ＪＳＲや大日本印刷も共同研究を進めている。

東京エレクトロンのコータ・デベロッパ装置は世界シェア9割、ＥＵＶ向けでは100％のシェアを握っている。研究開発段階から微細化技術のトップ企業と連携することで、圧倒的な競争力を維持することになりそうだ。