炭素部材大手の東洋炭素は、半導体製造装置の基幹部材であるSiCウエハーを載せる台座となるサセプターを、日本や米国で増産する。SiCサセプターは、SiCウエハーを製造する際に、ウエハーを載せて加熱や冷却を行うための台座となる部材。SiCウエハーは、従来のシリコンウエハーに比べて耐熱性や耐電圧性に優れているため、電気自動車（EV）の電力変換や充電器などに用いられている。

東洋炭素は、SiCサセプターの世界トップシェアを誇る。中期経営計画で、設備投資額の7割にあたる360億円をサセプターの増産などにあてる方針だったが、さらなる増産が必要になると判断し、追加投資額は50億円以上を見込み、2028年までに生産能力を現在の約3倍に高める。

従来は、25年までに生産能力を約1.5倍に引き上げる計画だったが、需要が拡大しており、生産が追いついていない。28年以降も欧州などでさらなる増産を検討する。SiCパワー半導体は、従来のシリコン基板のパワー半導体に比べて、耐熱性や耐電圧性に優れているため、EVの電力変換や充電器などに求められている。