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2023/9/12 10:26
ラサ工業は、半導体の製造工程で使う高純度リン酸のリサイクル事業に乗り出す。供給の安定化を目標とした設備投資計画が、「経済施策を一体的に講ずることによる安全保障の確保の推進に関する法律」の「供給確保計画」に認定され、大阪工場における設備投資計画について、助成金の交付を受ける予定となった。
半導体向け高純度リン酸は、リン酸の不純物含有量が低く、半導体の製造工程においてエッチング剤として使用される。主に日本と台湾のメーカーが製造しており、日本化学工業とラサ工業が世界的にシェアを二分している。半導体製造の規模拡大に伴い、リン酸廃液の量が増加していることに加え、リン酸の価格高騰も影響しているため、半導体向け高純度リン酸のリサイクルは重要になっている。
半導体向け高純度リン酸は、リン酸の不純物含有量が低く、半導体の製造工程においてエッチング剤として使用される。主に日本と台湾のメーカーが製造しており、日本化学工業とラサ工業が世界的にシェアを二分している。半導体製造の規模拡大に伴い、リン酸廃液の量が増加していることに加え、リン酸の価格高騰も影響しているため、半導体向け高純度リン酸のリサイクルは重要になっている。