ADEKAは、2021年8月30日、EUVをはじめとする半導体の最先端フォトレジスト向け光酸発生剤の生産能力を増強すると発表した。投資額は27億円。生産能力増強は2倍以上で、2022年3月に着工し、2023年度中の運転開始を予定する。

光酸発生剤「アデカアークルス」は、微細なパターニング形成とppb(10億分の1)レベルの低メタル管理が特徴で、世界トップクラスの性能を持つ。

今後は、最先端リソグラフィ技術であるEUV露光の拡大が予想されており、EUV向け製品の提供を加速。従来では対応することが難しいppb>1レベルの低メタル管理を実現する最新設備を導入する。

ADEKAの株価は1.49％高の2317円で推移している。