半導体製造機器などを手掛けるタカトリは、電気自動車（EV）市場の拡大に伴うパワー半導体需要の増加で、炭化ケイ素（SiC）ウエハー加工装置で世界市場席巻を目指す。

炭化ケイ素ウエハーは、シリコンウエハーに代わってパワー半導体の高電圧・高電流に対応できる素材として成長している。タカトリは、インゴットからウエハーをスライスする技術に強みを持ち、ワイヤ切断装置とスラリーオイルの「刃」を組み合わせることで世界最高水準の切断精度を実現している。

昨年10月に、6インチから最大10インチのウエハー加工に対応できる新装置を投入した。ロボットによる部材自動交換や、切断後の研削・研磨まで1台でできる装置も投入した。工場の生産性・安全性を向上させ、作業者のミスによる歩留まり低下も防ぐことができる。

次世代の半導体素材として注目される窒化ガリウム（GaN）ウエハー加工装置の開発にも注力している。すでに6インチウエハー製造技術を確立し、今後は大きさや厚みも増していく。