株テーマ：ウエハー搬送装置の関連銘柄
ウェハ搬送は半導体製造装置の前工程では重要な工程で、特に高精度、高速度が求められ。工程内ウェーハ搬送装置，工程間ウェーハ搬送装置, ストッカーなどがある。
ローツェは、ウエハー・ガラス基板搬送機最大手。安川電機の半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途。平田機工は、300mm ウェーハ搬送ロボットを手掛けている。
ダイフクは先端半導体向けの自動搬送機を開発した。半導体を製品に最終加工する「後工程」に対応した搬送機で、搬送自動化の分野に進出する。
